平面度儀誤差測(cè)量方法的介紹
日期：2025-07-02 03:25
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摘要：
平面度儀采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測(cè)量評(píng)估, 廣泛應(yīng)用于航空航天，汽車工業(yè)噴油嘴行業(yè)，泵、閥門密封件表面，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。
平面度誤差測(cè)量的常用方法有如下幾種：
1、平晶干涉法：
用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測(cè)表面的平面度誤差值。主要用于測(cè)量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測(cè)頭測(cè)量面的平面度誤差。
平面是由直線組成的，因此直線度測(cè)量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法等也適用于測(cè)量平面度誤差。測(cè)量平面度時(shí)，先測(cè)出若干截面的直線度，再把各測(cè)點(diǎn)的量值按平面度公差帶定義(見(jiàn)形位公差)利用圖解法或計(jì)算法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測(cè)量平面誤差的。
2、打表測(cè)量法：
打表測(cè)量法是將被測(cè)零件和測(cè)微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測(cè)量基準(zhǔn)面，用測(cè)微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測(cè)量。打表測(cè)量法按評(píng)定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對(duì)角線法：三點(diǎn)法是用被測(cè)實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，實(shí)測(cè)時(shí)先將被測(cè)實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高；對(duì)角線法實(shí)測(cè)時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對(duì)角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測(cè)微計(jì)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)微計(jì)在整個(gè)實(shí)際表面上測(cè)得的大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。
3、液平面法：
液平面法是用液平面作為測(cè)量基準(zhǔn)面，液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測(cè)量。此法主要用于測(cè)量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法：
光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進(jìn)行測(cè)量，選擇實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三個(gè)點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測(cè)量基準(zhǔn)面。
5、激光平面度測(cè)量?jī)x：
激光平面度測(cè)量?jī)x用于測(cè)量大型平面的平面度誤差平面度測(cè)量平面度測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)。
6、利用數(shù)據(jù)采集儀連接百分表測(cè)量平面度誤差的方法
測(cè)量?jī)x器：偏擺儀、百分表、數(shù)據(jù)采集儀。
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